PELLICLE INTRODUCTION

光罩護膜（Pellicle）是什麼？光罩護膜是一塊薄膜展開在框架上，保護光罩避免微塵的污染，防止微塵或其他外在物質被刻印在晶圓上。使用光罩護膜最主要有兩種目的，其一為增加晶片生產良率，另一是減少光罩於使用時的清潔和檢驗，有效提高產量。